展會主題:[SEMICON CHINA 2024]
展會時間:2024年3月20~3月22日
展會地址:上海新國際博覽中心
展會內容:覆蓋芯片設計、制造、封測、設備、材料、光伏、顯示等半導體全產業(yè)鏈
參展亮點:MRM閥的高純度、高耐腐蝕性以及優(yōu)異的密封性能,確保了半導體生產線的穩(wěn)定運行和產品質量。
SEMICON China 2024作為半導體行業(yè)規(guī)模和影響力的展會之一,為參展商和觀眾提供了一個交流技術動態(tài)、展示*新產品成果、探討行業(yè)發(fā)展趨勢的平臺。巖瀨代理品牌MRM受邀參展,為大家展示了各種類型的閥(例如:氣動閥、手動閥、回吸閥、安 全閥、逆止閥、泄壓閥、高溫閥、針閥等)在半導體行業(yè)中的被大量應用:
展出產品
①MRM回吸閥、安 全閥、高溫閥、針閥:回吸閥具有緊湊的設計和合理的布局,能夠在有限的空間內發(fā)揮*大功能,提高空間利用率;安 全閥的主要功能是防止系統(tǒng)壓力超過規(guī)定值,保護設備安 全。當系統(tǒng)壓力超過規(guī)定值時,安 全閥自動開啟,排放多余的介質,防止設備超壓損壞;高溫閥具有良好的耐淬火性,能深度淬火,適用于高溫工作環(huán)境;針閥是一種可以精 確調整的儀表閥門,主要用于儀表測量管路系統(tǒng)中,對流量進行精 確控制。
②MRM氣動閥、手動閥:氣動閥具備高連接靈活性、出色抗腐蝕性、超低粉塵處理、安 全構造等特點,因此廣泛應用于各種工業(yè)領域,特別是在半導體IC(集成電路)、LCD(液晶)、LED(發(fā)光二極管)和其他精密產品的制造過程中發(fā)揮重要作用。此外,它們還用于醫(yī)療器械和藥 物分析儀等需要高精度流體控制的場合;手動閥具有優(yōu)異的密封性能,能夠有效防止液體泄漏,確保流體控制的準確性和安 全性,同時成本較低,降低了流體控制的成本。
③MRM逆止閥、泄壓閥:逆止閥以其優(yōu)異的密封性能和耐腐蝕性,能夠有效防止雜質和污染物的進入,確保半導體生產線的穩(wěn)定運行;泄壓閥是一種用于保護系統(tǒng)安 全的閥門,其主要功能是在系統(tǒng)壓力超過設定值時自動開啟,釋放部分壓力,以防止系統(tǒng)因壓力過高而損壞。
MRM PFA/PTFE閥在半導體行業(yè)被大量應用:
1. 流體控制系統(tǒng): 在半導體行業(yè)中被廣泛應用于流體控制系統(tǒng),用于精 確調控氣體和液體的流量和壓力。
2. 清洗和沖洗: 半導體制造過程中,設備和管道需要定期進行清洗和沖洗,已確保器件的質量和一致性。
3. 氣體配送系統(tǒng): 在半導體制造工藝中,需要將各種氣體輸送到不同的設備和工序。被用于氣體配送系統(tǒng)中,通過控制氣體的流動和壓力,確保氣體在正確時間和正確的量進行輸送。
4. 溫度控制系統(tǒng): 在半導體制造過程中,被用于精 確調節(jié)冷卻劑和加熱劑的流量和壓力,以控制系統(tǒng)的溫度。
除了上述主要應用領域外,MRM PFA/PTFE閥還廣泛應用于半導體行業(yè)的其他系統(tǒng),如氣體回收系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、氣體凈化系統(tǒng)、壓力控制系統(tǒng)、氣體分配系統(tǒng)、廢氣處理系統(tǒng)、液體供應系統(tǒng)以及氣體泄漏監(jiān)測系統(tǒng)等。這些系統(tǒng)的穩(wěn)定運行都離不開MRM閥的精 確控制和可靠性能。